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Das Wirbelstrom-Messverfahren wird in vielen technischen Anwendungen eingesetzt. Die Forderung nach hoher Auflösung führt unter anderem zur Verkleinerung der Sensorabmessungen. Hierfür bietet die Dünnfilmtechnik als eine der Fertigungstechnologien die Möglichkeit zur Miniaturisierung der Sensorgeometrie. Die vorliegende Arbeit befasst sich mit dem Entwurf von Wirbelstromsensoren in Dünnfilmtechnik zur Abstandsmessung. Dabei stehen Modellierung und Simulation im Vordergrund. Zwei Methoden zur Erfassung des Messsignals werden verfolgt. Eine Methode basiert auf dem induktiven Messprinzip. Bei diesem Messprinzip wird das aus Erregerfeld und Feld der Wirbelströme bestehende magnetische Wechselfeld durch elektromagnetische Induktion in ein elektrisches Messsignal umgewandelt. Das zweite Messprinzip beruht auf Erfassung des magnetischen Wechselfeldes durch Magnetfeldsensoren.
Das Wirbelstrom-Messverfahren wird in vielen technischen Anwendungen eingesetzt. Die Forderung nach hoher Auflösung führt unter anderem zur Verkleinerung der Sensorabmessungen. Hierfür bietet die Dünnfilmtechnik als eine der Fertigungstechnologien die Möglichkeit zur Miniaturisierung der Sensorgeometrie. Die vorliegende Arbeit befasst sich mit dem Entwurf von Wirbelstromsensoren in Dünnfilmtechnik zur Abstandsmessung. Dabei stehen Modellierung und Simulation im Vordergrund. Zwei Methoden zur Erfassung des Messsignals werden verfolgt. Eine Methode basiert auf dem induktiven Messprinzip. Bei diesem Messprinzip wird das aus Erregerfeld und Feld der Wirbelströme bestehende magnetische Wechselfeld durch elektromagnetische Induktion in ein elektrisches Messsignal umgewandelt. Das zweite Messprinzip beruht auf Erfassung des magnetischen Wechselfeldes durch Magnetfeldsensoren.
